Wie alle MEMS-Sensoren werden auch diese mikromechanisch, also maschinell, hergestellt. Im Unterschied zu den kapazitiven Ausführungen erfolgt die Messung durch ionenimplatierte Halbleiterwiderstände auf dem Silizium-Chip. Sie funktionieren also prinzipiell wie eine Ausführung mit DMS, nur dass keine Metallfolie, sondern Halbleiter verwendet werden. Der Vorteil dieser Technologie liegt u.a. in geringeren Kosten, auf der anderen Seite ist eine Öldämpfung wie bei den DMS-Ausführungen nicht möglich, MEMS-Sensoren sind gasgedämpft und Messungen sind ab 0 Hz (statisch) möglich.
(Hinweis: die Links zum Download der Datenblätter leiten Sie auf die Webseite des Herstellers)
4332 für Strukturanalyse, Brückenüberwachung etc. Schutzart IP68
Rauscharm
Drei unabhängige Messkreise
Geringer Stromverbrauch
Messbereich: +/- 2 g bis +/- 5 g.
Spannungsausgang
50 Hz Tiefpassfilter
Betriebstemperatur: -40°C bis +85°C
Dieser Sensor bietet Ihnen geringes Rauschen und ist für statische und dynamische Messungen geeignet. Integriert in ein Aluminiumgehäuse bietet er einen Messbereich von +/- 2 g bis +/- 5 g. Er verfügt über ein integriertes Kabel und die Schutzart IP68.