Piezoresistiv (MEMS)

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Übersicht

Wie alle MEMS-Sensoren werden auch diese mikromechanisch, also maschinell, hergestellt. Im Unterschied zu den kapazitiven Ausführungen erfolgt die Messung durch ionenimplatierte Halbleiterwiderstände auf dem Silizium-Chip. Sie funktionieren also prinzipiell wie eine Ausführung mit DMS, nur dass keine Metallfolie, sondern Halbleiter verwendet werden. Der Vorteil dieser Technologie liegt u.a. in geringeren Kosten, auf der anderen Seite ist eine Öldämpfung wie bei den DMS-Ausführungen nicht möglich, MEMS-Sensoren sind gasgedämpft und Messungen sind ab 0 Hz (statisch) möglich.

(Hinweis: die Links zum Download der Datenblätter fürhen Sie auf die Webseite des Herstellers)

Einachsig

ModellSpezifikationDatenblatt
1201F
  • Messbereich (+/- g): 50, 100, 200, 500, 1000
  • preiswerter Aufnehmer
  • 2-10 VDC Speisung
  • Stecker optional
  • Mechanische Überlastanschläge
  • -20 bis +85° C Betriebstemperatur
1207
  • Messbereich (+/- g): 50, 100, 200, 500, 1000
  • 2-10 VDC Speisung
  • robuste Zuegentlastungsfeder
  • Mechanische Überlastanschläge
  • -20 bis+85° C Betriebstemperatur
1207F
  • Range (+/- g): 50, 100, 200, 500, 1000
  • Low Cost
  • 2-10 VDC Speisung
  • Frequenz (Hz): 0-800, 0-4000
  • robuste Zugentlastungsfeder
  • Gewicht: 3g (ohne Kabel)
  • Eloxiertes Aluminium Gehäuse
  • -40 bis +100° C Betriebstemperatur
201
  • Motorsport
  • Messbereiche (+/-g): 2, 5, 10, 20, 30, 50, 100
  • rauscharm
  • 2 Pol-Filter (elektronisch)
  • hoher Überlastschutz
  • -40 bis +125° C Betriebstemperatur
3700
  • Messbereich:  ±50g to ±6000g
  • 20,000g Überlastschutz
  • keine Nullpunktdrift
  • robustes Ausgangskabel
  • mV-Ausgang
  • Edelstahlgehäuse
3801A
  • Messbereich (±g): 2, 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000
  • 10,000g Überlastschutz
  • hermetisch verschlossen
  • -55°C bis +125°C Betriebstemperatur
  • Gewindebefestigung
4000A / 4001A

 

  • Messbereich(±g): 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200
  • Temperatur kalibirert
  • preiswerter Sensor
  • hoher Überlastschutz
  • -20°C bis  +85°C Betriebstemperatur
  • Stecker optional
4600/4602
  • Messbereich(±g): 2, 10, 30, 50, 100, 200, 500
  • Ausgangssignal verstärkt!
  • 8 bis 36VDC Speisespannung
  • Hoher Frequenzbereich (0 bis max. 2000 Hz)
  • Kabelzugentlastung durch integr. Feder
  • -55° bis +125°C Betriebstemperatur
4604
  • Messbereich (±g): 2, 10, 30, 50, 100, 200, 500
  • Hohe Sensitivität, rauscharm
  • Messbereich: ±2g to ±500g Dynamic Range
  • Robust Strain Relief and Cable
  • 8 to 36Vdc Excitation
  • -55° to +125°C Operating Range
4610
  • Messbereich(±g): 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200, 500
  • rauscharm
  • erweiterte Temp.-Kompensation
  • 10,000g Überlastschutz
  • hermetisch geschlossen
  • -55° bis +125°C Betriebstemperatur
4201
  • Messbereich bis +/- 30g
  • Für Motorsport und Industrieanwendungen
  • hohe Performance und Zuverlässigkeit
  • 8-16 VDC Speisung
  • Interner Verstärker
  • EMI/RFI-Schutz
  • Integrierter 8-Pol-Filter
  • Querempfindlichkeit <1% möglich
  • Überlastschutz bis +/- 5.000 g
  • -40 bis +125° C Betriebstemperatur
4604
  • Messbereich(±g): 2, 5, 10, 30, 50, 100, 200
  • Frequenz (Hz): 0-700 bis 0-2700
  • Sehr stabil
  • integr. Kabelzugentlastungsfeder
  • 4 bis 30 VDC Speisespannung
  • -55° bis +125°C Betriebstemperatur
  • Überlastanschläge
  • Eloxiertes Aluminium Gehäuse, IP65
Datenblatt
4801A
  • Messbereich ±g): 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200, 500
  • verstärktes Ausgangssignal
  • hermetisch geschlossen
  • 10,000g Überlastschutz
  • 8 bis 36 VDC Speisespannung
  • Frequenzbereich: 0 bis max. 2000 Hz
  • Gewindebefestigung
  • -55° bis +125°C Betriebstemperatur

Datenblatt

4810
  • Messbereich(±g): 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200, 500
  • Hohe Performance
  • verstärktes Ausgangssignal
  • 8-36 VDC Speisespannung
  • hermetisch geschlossen
  • erweiterte Temp.-Kompensation
  • -55° bis +125°C Betriebstemperatur

Datenblatt

Dreiachsig

ModellSpezifikationDatenblatt
4835A 
  • Dreiachsig, MEMS-Technik
  • Offroad-Anwendungen (z.B. Motorsport, Tests)
  • Gehäusematerial: Titan
  • Messbereich (+/- g): 2, 5, 10, 50, 100, 200
  • Sehr stabiles Signal
  • 8 – 36 VDC Speisung
  • Nichtlinearität: +/- 0,1% FSO
  • Ausgangssignal: +/2 V (2 V offs.) differential oder 0,65 bis 2,65V single ended
  • Frequenzbereiche: 0-700 Hz und 0-2.000 Hz
  • Schutzart IP67 (mit passendem Kabel+Stecker)
  • Überlast: max. 6000g

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4020/4030

 

  • Sehr preiswerter Sensor!
  • MEMS-Technik, DC-Ausgang, statische Messungen möglich
  • Zweiachsig oder dreiachsig
  • Messbereiche: 2g, 6g
  • Kunststoffgehäuse, Schutzart IP65

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Anwendungen
Seismische und Struktur-überwachungen

4033

 

  • Rauscharm
  • Messbereich: +/- 2 g  und +/- 6 g
  • Frequenzbereich: 0-200 Hz (+/- 5 %)
  • Speisung: 5 V bis 30 V DC unreg.
  • Spannungsausgang: +/- 2V bei 2,5V Offset
  • Tiefpassfilter
  • Betriebstemperatur: -40°C bis +85°

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4332

für Strukturanalyse, Brückenüberwachung etc. Schutzart IP68
  • Rauscharm
  • Drei unabhängige Messkreise
  • Geringer Stromverbrauch
  • Messbereich: +/- 2 g bis +/- 5 g.
  • Spannungsausgang
  • 50 Hz Tiefpassfilter
  • Betriebstemperatur: -40°C bis +85°C

Dieser Sensor bietet Ihnen geringes Rauschen und ist für statische und dynamische Messungen geeignet. Integriert in ein Aluminiumgehäuse bietet er einen Messbereich von +/- 2 g bis +/- 5 g. Er verfügt über ein integriertes Kabel und die Schutzart IP68.

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203
  • Motorsport, 3-achsig
  • Messbereiche (+/-g): 2, 5, 10, 20, 30, 50
  • rauscharm
  • 2 Pol-Filter (elektronisch)
  • hoher Überlastschutz
  • -40 bis +125° C Betriebstemperatur

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4203
  • Motorsport
  • Messbereiche (+/-g): 6, 8. 10, 20, 30
  • 8-16 VDC Speisung
  • eingebauter  Low-Pass-Filter 8er Ordnung
  • EMI/RFI Schutz
  • Hohe Genauigkeit

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1203
  • Messbeweriche(+/-g): 50,100, 200, 500, 1000 preiswerter Sensor
  • 2-10 VDC Speisung
  • -20°C to +85°C Betriebstemp.
  • mech. Überlastanschläge
  • für Montage mit Schrauben optimiert

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4630
  • Messbereiche(+/-g): 2, 5, 10, 20, 50 ,100, 200, 500
  • rauscharm, definierter Signalausgang
  • 10,000g Überlastschutz
  • drei unabhängige Messkanäle
  • geringe Querempfindlichkeit
  • -55°C to +125°C Betriebstemp.

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606M1

 

Dreiachsiger MEMS-Sensor für statische und dynamische Messungen, speziell für Messungen des/am Körper analog ISO 2631-1 und ISO 8041.

 

  • Dreiachsig
  • Messbereich: +/- 25g
  • Spannungsversorgung: 8 bis 32 V DC
  • Spannungsausgang
  • Gasdämpfung
  • Geringe Stromaufnahme
  • Int. Temperaturkompensation
  • Geringe Querempfindlichkeit

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Für alle Daten-/blätter gilt: Änderungen vorbehalten