Piezoresistive MEMS Beschleunigungssensoren

Piezoresitive MEMS Beschleunigungssensoren

Übersicht

Wie alle MEMS-Sensoren werden auch diese mikromechanisch, also maschinell, hergestellt. Im Unterschied zu den kapazitiven Ausführungen erfolgt die Messung durch ionenimplatierte Halbleiterwiderstände auf dem Silizium-Chip. Sie funktionieren also prinzipiell wie eine Ausführung mit DMS, nur dass keine Metallfolie, sondern Halbleiter verwendet werden. Der Vorteil dieser Technologie liegt u.a. in geringeren Kosten, auf der anderen Seite ist eine Öldämpfung wie bei den DMS-Ausführungen nicht möglich, MEMS-Sensoren sind gasgedämpft und Messungen sind ab 0 Hz (statisch) möglich.

(Hinweis: die Links zum Download der Datenblätter leiten Sie auf die Webseite des Herstellers)

Einachsig

Modell	Spezifikation	Datenblatt
1201F 1201 Beschleunigungssensor MEMS	Messbereich (+/- g): 50, 100, 200, 500, 1000 preiswerter Aufnehmer 2-10 VDC Speisung Stecker optional Mechanische Überlastanschläge -20 bis +85° C Betriebstemperatur	Datenblatt
1207 1207 Beschleunigungssensor MEMS	Messbereich (+/- g): 50, 100, 200, 500, 1000 2-10 VDC Speisung robuste Zugentlastungsfeder Mechanische Überlastanschläge -20 bis+85° C Betriebstemperatur	Datenblatt
1207F 1207F Beschleunigungssensor MEMS	Range (+/- g): 50, 100, 200, 500, 1000 Low Cost 2-10 VDC Speisung Frequenz (Hz): 0-800, 0-4000 robuste Zugentlastungsfeder Gewicht: 3g (ohne Kabel) Eloxiertes Aluminium Gehäuse -40 bis +100° C Betriebstemperatur	Datenblatt
201 201 Beschleunigungssensor 2 Pol-Filter (elektronisch) für Motorsport	Motorsport Messbereiche (+/-g): 2, 5, 10, 20, 30, 50, 100 rauscharm 2 Pol-Filter (elektronisch) hoher Überlastschutz -40 bis +125° C Betriebstemperatur	Datenblatt
3700 3700 Beschleunigungssensor MEMS	Messbereich: ±50g to ±6000g 20,000g Überlastschutz keine Nullpunktdrift robustes Ausgangskabel mV-Ausgang Edelstahlgehäuse	Datenblatt
3801A 3801A Beschleunigungssensor MEMS	Messbereich (±g): 2, 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000 10,000g Überlastschutz hermetisch verschlossen -55°C bis +125°C Betriebstemperatur Gewindebefestigung	Datenblatt
4000A / 4001A 4000A 4001A Beschleunigungssensor MEMS	Messbereich(±g): 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200 Temperatur kalibirert preiswerter Sensor hoher Überlastschutz -20°C bis +85°C Betriebstemperatur Stecker optional	Datenblatt
4600/4602 4600 4602 Beschleunigungssensor MEMS	Messbereich(±g): 2, 10, 30, 50, 100, 200, 500 Ausgangssignal verstärkt! 8 bis 36VDC Speisespannung Hoher Frequenzbereich (0 bis max. 2000 Hz) Kabelzugentlastung durch integr. Feder -55° bis +125°C Betriebstemperatur	Datenblatt
4604 4604 Beschleunigungssensor MEMS	Messbereich (±g): 2, 10, 30, 50, 100, 200, 500 Hohe Sensitivität, rauscharm Messbereich: ±2g to ±500g Dynamic Range Robust Strain Relief and Cable 8 to 36Vdc Excitation -55° to +125°C Operating Range	Datenblatt
4610	Messbereich(±g): 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200, 500 rauscharm erweiterte Temp.-Kompensation 10,000g Überlastschutz hermetisch geschlossen -55° bis +125°C Betriebstemperatur	Datenblatt
4201 4201 Beschleunigungssensor MEMS für Automotive/Motorsport	Messbereich bis +/- 30g Für Motorsport und Industrieanwendungen hohe Performance und Zuverlässigkeit 8-16 VDC Speisung Interner Verstärker EMI/RFI-Schutz Integrierter 8-Pol-Filter Querempfindlichkeit <1% möglich Überlastschutz bis +/- 5.000 g -40 bis +125° C Betriebstemperatur	Datenblatt
4604	Messbereich(±g): 2, 5, 10, 30, 50, 100, 200 Frequenz (Hz): 0-700 bis 0-2700 Sehr stabil integr. Kabelzugentlastungsfeder 4 bis 30 VDC Speisespannung -55° bis +125°C Betriebstemperatur Überlastanschläge Eloxiertes Aluminium Gehäuse, IP65	Datenblatt
4801A	Messbereich ±g): 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200, 500 verstärktes Ausgangssignal hermetisch geschlossen 10,000g Überlastschutz 8 bis 36 VDC Speisespannung Frequenzbereich: 0 bis max. 2000 Hz Gewindebefestigung -55° bis +125°C Betriebstemperatur	Datenblatt
4810	Messbereich(±g): 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200, 500 Hohe Performance verstärktes Ausgangssignal 8-36 VDC Speisespannung hermetisch geschlossen erweiterte Temp.-Kompensation -55° bis +125°C Betriebstemperatur	Datenblatt

Dreiachsig

Modell	Spezifikation	Datenblatt
4835A	Dreiachsig, MEMS-Technik Offroad-Anwendungen (z.B. Motorsport, Tests) Gehäusematerial: Titan Messbereich (+/- g): 2, 5, 10, 50, 100, 200 Sehr stabiles Signal 8 – 36 VDC Speisung Nichtlinearität: +/- 0,1% FSO Ausgangssignal: +/2 V (2 V offs.) differential oder 0,65 bis 2,65V single ended Frequenzbereiche: 0-700 Hz und 0-2.000 Hz Schutzart IP67 (mit passendem Kabel+Stecker) Überlast: max. 6000g	PDF
4020/4030	Sehr preiswerter Sensor! MEMS-Technik, DC-Ausgang, statische Messungen möglich Zweiachsig oder dreiachsig Messbereiche: 2g, 6g Kunststoffgehäuse, Schutzart IP65	PDF Anwendungen Seismische und Struktur-überwachungen
4033	Rauscharm Messbereich: +/- 2 g und +/- 6 g Frequenzbereich: 0-200 Hz (+/- 5 %) Speisung: 5 V bis 30 V DC unreg. Spannungsausgang: +/- 2V bei 2,5V Offset Tiefpassfilter Betriebstemperatur: -40°C bis +85°	PDF
4332 für Strukturanalyse, Brückenüberwachung etc. Schutzart IP68	Rauscharm Drei unabhängige Messkreise Geringer Stromverbrauch Messbereich: +/- 2 g bis +/- 5 g. Spannungsausgang 50 Hz Tiefpassfilter Betriebstemperatur: -40°C bis +85°C Dieser Sensor bietet Ihnen geringes Rauschen und ist für statische und dynamische Messungen geeignet. Integriert in ein Aluminiumgehäuse bietet er einen Messbereich von +/- 2 g bis +/- 5 g. Er verfügt über ein integriertes Kabel und die Schutzart IP68.	PDF
203	Motorsport, 3-achsig Messbereiche (+/-g): 2, 5, 10, 20, 30, 50 rauscharm 2 Pol-Filter (elektronisch) hoher Überlastschutz -40 bis +125° C Betriebstemperatur	PDF
4203	Motorsport Messbereiche (+/-g): 6, 8. 10, 20, 30 8-16 VDC Speisung eingebauter Low-Pass-Filter 8er Ordnung EMI/RFI Schutz Hohe Genauigkeit	PDF
1203	Messbeweriche(+/-g): 50,100, 200, 500, 1000 preiswerter Sensor 2-10 VDC Speisung -20°C to +85°C Betriebstemp. mech. Überlastanschläge für Montage mit Schrauben optimiert	PDF
4630	Messbereiche(+/-g): 2, 5, 10, 20, 50 ,100, 200, 500 rauscharm, definierter Signalausgang 10,000g Überlastschutz drei unabhängige Messkanäle geringe Querempfindlichkeit -55°C to +125°C Betriebstemp.	PDF
606M1	Dreiachsiger MEMS-Sensor für statische und dynamische Messungen, speziell für Messungen des/am Körper analog ISO 2631-1 und ISO 8041. Dreiachsig Messbereich: +/- 25g Spannungsversorgung: 8 bis 32 V DC Spannungsausgang Gasdämpfung Geringe Stromaufnahme Int. Temperaturkompensation Geringe Querempfindlichkeit	PDF

Für alle Daten-/blätter gilt: Änderungen vorbehalten

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