Kapazitiv (MEMS)

Kapazitive MEMS Beschleunigungssensoren

Das sensitive Element dieser Sensoren beruht auf der Veränderung der Kapazität durch Abstandsänderung der Elektroden (Kondensator, Luftdämpfung), die aus Halbleiter gefertigt sind und in einer Brücke (mit Doppelkondensator) verschaltet sind.
Kapazitive Beschleunigungssensoren eigen sich für statische und niederfrequente Messaufgaben. Der nutzbare Frequenzbereich ist i.a. ebenso wie der max. Messbereich niedriger als bei piezoresistiven Ausführungen. Das sensitive, kapazitive Element befindet sich zusammen mit dem Verstärker/Spannungsregulator/Filter auf einer anwenderspezifischen Platine (ASIC – application specific integrated circuit), die dann in ein Gehäuse eingebaut ist. Die Gehäuseform richtet sich nach den verschiedenen Anwendungsmöglichkeiten. Auf der Platine sind u.a. der Spannungsregulator, Filter und Verstärker implementiert. Dies führt zu größeren äußeren Abmessungen und höherem Gewicht gegenüber unverstärkten piezoresistiven Sensoren, die auch als Halbbrücke ausgeführt werden können.
Kapazitive Beschleunigungssensoren sind sehr robust und eigenen sich daher für vielfältige Anwendungen. Ein Nachteil besteht im Rauschen, besonders in niedrigen Messbereichen. Die Hersteller bieten daher auch “Low Noise“ – Varianten an, die dann auf einem bestimmten sensitiven Element beruhen.
Wir unterstützen Sie gerne bei der Lösung Ihrer Messaufgaben! Fragen Sie uns an.

Kapazitive, mehrachsige Beschleunigungssensoren (MEMS) des Herstellers Micromega.

Spannungs- oder Stromausgang, Messungen ab 0 Hz.

IAC- HiRes	Ein-, zwei und dreiachsig Geringes Rauschen, großer Frequenzbereich, Spannungs- oder Stromausgang. Messbereich je Achse (+/- g): 2, 5, 10, 25, 50, 100, 200, 400, Speisung: 10-30 V DC unreg., Ausgang: +/- 4 V, Frequenzbereich: von 0 Hz bis 4.000 Hz (-3dB), abhängig vom Messbereich, Nichtlinearität: +/- 0,5% FS, Tiefpassfilter 1. oder 2. Ordnung, Überlast: +/- 5.000 g, Betriebstemperatur: -40°C bis +80°C, Gehäusematerial: Aluminium (MIL-A-8625 Type II coating), Gewicht ohne Kabel: 55g, Schutzart: IP67	Datenblätter: Spannungsausgang – einachsig – zweiachsig – dreiachsig Stromausgang – einachsig – zweiachsig – dreiachsig
IAC-CM	Ein- zwei und dreiachsig Hoher Frequenzbereich, Condition Monitoring, Spannungs- oder Stromausgang Messbereich, je Achse (+/- g): 25, 50, 100, Speisung: 12-30 V DC unreg. Ausgang: +/- 4 V oder 4-20mA, Frequenzbereich: von 0 Hz bis 10.000 Hz (-3dB), Nichtlinearität: +/- 0,5% – 1,5% FS, Überlast: +/- 1.000 g , Betriebstemperatur: -40°C bis +80°C, Gehäusematerial: Aluminium (MIL-A-8625 Type II coating), Gewicht ohne Kabel: 50g, Schutzart: IP67	Datenblätter: Spannungsausgang – einachsig – zweiachsig – dreiachsig Stromausgang – einachsig – zweiachsig – dreiachsig
IAC	Ein- zwei- und dreiachsig Preiswerte Sensoren (low cost), kompakt, geringes Rauschen, für viele Applikationen geeignet. Messbereich je Achse (+/- g): 2, 6, Speisung: 12-30 V DC unreg., Ausgang: 0-3V / 0-3mA, Sensitivität: +/-0,6 V/g, Frequenzbereich: von 0 Hz bis 1000 Hz (-3dB), abhängig vom Messbereich, Nichtlinearität: +/- 0,5% FS Tiefpassfilter 1. oder 2. Ordnung Überlast: +/- 5.000 g Betriebstemperatur: -20°C bis +80°C Gehäusematerial: Aluminium (MIL-A-8625 Type II coating) Gewicht ohne Kabel: 40g Schutzart: IP67	Datenblätter: Spannungsausgang – einachsig – zweiachsig – dreiachsig Stromausgang – einachsig – zweiachsig – dreiachsig
IAC-UHRS	Einachsig Seismische Überwachung Messbereich (+/- g): 3, 5 Speisung: 10-30 V DC unreg., Ausgang: -/- 2,7 V differential Frequenzbereich: von 0 Hz bis 500/650 Hz Nichtlinearität: 0,5% typ – 1,5% max. Rauschen: 1,0/1,5 μg/√Hz Überlast: 1.000 g Betriebstemperatur: -40°C bis +80°C Gehäusematerial: Aluminium (MIL-A-8625 Type II coating) Gewicht ohne Kabel: 50g Schutzart: IP67	Datenblätter Spannungsausgang – einachsig – zweiachsig – dreiachsig

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Kapazitive, mehrachsige Beschleunigungssensoren (MEMS) des Herstellers PCB Piezotronics

Spannungsausgang, Messungen ab 0 Hz.
(Hinweis: die Links (PDF) führen Sie zu den Seiten des Herstellers)

Einachsig

3711F112g	Messbereich ±2 g Empfindlichkeit (±3%) 1.350 mV/g Frequenzbereich (±5%) 0 … 250 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC Integriertes Anschlusskabel, Länge 3 Meter, endend auf abisolierte und verzinnte Enden	PDF
3711F1110G	Messbereich ±10 g Empfindlichkeit (±3%) 135 mV/g Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.000 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC 4-Pin-Anschlussbuchse seitlich	PDF
3711F1130G	Messbereich ±35 g Empfindlichkeit (±3%) 45 mV/g Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.500 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC 4-Pin-Anschlussbuchse seitlich	PDF
3711F1150G	Messbereich ±50 g Empfindlichkeit (±3%) 27 mV/g Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.500 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC 4-Pin-Anschlussbuchse seitlich	PDF
3711F11100G	Messbereich ±100 g Empfindlichkeit (±3%) 13,5 mV/g Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.500 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC 4-Pin-Anschlussbuchse seitlich	PDF
3711F11200G	Messbereich ±200 g Empfindlichkeit (±3%) 13,5 mV/g Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.500 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC 4-Pin-Anschlussbuchse seitlich	PDF
3711F122G	Messbereich ±2 g Empfindlichkeit (±3%) 675 mV/g Frequenzbereich (±5%) 0 … 250 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC Integriertes Anschlusskabel, Länge 3 Meter, endend auf abisolierte und verzinnte Enden	PDF
3711F1210G	Messbereich ±10 g Empfindlichkeit (±3%) 135 mV/g Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.000 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC Integriertes Anschlusskabel, Länge 3 Meter, endend auf abisolierte und verzinnte Enden	PDF
3711F1230G	Messbereich ±30 g Empfindlichkeit (±3%) 45 mV/g Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.500 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC Integriertes Anschlusskabel, Länge 3 Meter, endend auf abisolierte und verzinnte Enden	PDF
3711F1250G	Messbereich ±50 g Empfindlichkeit (±3%) 27 mV/g Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.500 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC Integriertes Anschlusskabel, Länge 3 Meter, endend auf abisolierte und verzinnte Enden	PDF
3711F12100G	Messbereich ±100 g Empfindlichkeit (±3%) 13,5 mV/g Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.500 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC Integriertes Anschlusskabel, Länge 3 Meter, endend auf abisolierte und verzinnte Enden	PDF
3711F12200G	Messbereich ±200 g Empfindlichkeit (±3%) 6,75 mV/g Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.500 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC Integriertes Anschlusskabel, Länge 3 Meter, endend auf abisolierte und verzinnte Enden	PDF

Dreiachsig

3713F112G	Messbereich ±2 g Empfindlichkeit (±3%) 675 mV/g Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 250 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC 9-Pin-Anschlussbuchse seitlich	PDF
3713F122G	Messbereich ±2 g Empfindlichkeit (±3%) 675 mV/g Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 250 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC 9-Pin-Anschlussbuchse seitlich	PDF
3713F1210G	Messbereich ±10 g Empfindlichkeit (±3%) 135 mV/g Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.000 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC 9-Pin-Anschlussbuchse seitlich	PDF
3713F1210G	Messbereich ±10 g Empfindlichkeit (±3%) 135 mV/g Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.000 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC 9-Pin-Anschlussbuchse seitlich	PDF
3713F1130G	Messbereich ±30 g Empfindlichkeit (±3%) 45 mV/g Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.500 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC 9-Pin-Anschlussbuchse seitlich	PDF
3713F1230G	Messbereich ±30 g Empfindlichkeit (±3%) 45 mV/g Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.500 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC 9-Pin-Anschlussbuchse seitlich	PDF

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