Kapazitive einachsige und mehrachsige MEMS Beschleunigungssensoren
Das sensitive Element dieser Sensoren beruht auf der Veränderung der Kapazität durch Abstandsänderung der Elektroden (Kondensator, Luftdämpfung), die aus Halbleiter gefertigt sind und in einer Brücke (mit Doppelkondensator) verschaltet sind.
Kapazitive Beschleunigungssensoren eigen sich für statische und niederfrequente Messaufgaben. Der nutzbare Frequenzbereich ist i.a. ebenso wie der max. Messbereich niedriger als bei piezoresistiven Ausführungen. Das sensitive, kapazitive Element befindet sich zusammen mit dem Verstärker/Spannungsregulator/Filter auf einer anwenderspezifischen Platine (ASIC – Application Specific Integrated Circuit), die dann in ein Gehäuse eingebaut ist. Die Gehäuseform richtet sich nach den verschiedenen Anwendungsmöglichkeiten. Auf der Platine sind u.a. der Spannungsregulator, Filter und Verstärker implementiert. Dies führt zu größeren äußeren Abmessungen und höherem Gewicht gegenüber unverstärkten piezoresistiven Sensoren, die auch als Halbbrücke ausgeführt werden können.
Kapazitive Beschleunigungssensoren sind sehr robust und eigenen sich daher für vielfältige Anwendungen.
Nachfolgend finden Sie eine Auswahl aus unserem Lieferprogramm:
IAC- HiRes | Ein-, zwei und dreiachsig Geringes Rauschen, großer Frequenzbereich, Spannungs- oder Stromausgang. Messbereich je Achse (+/- g): 2, 5, 10, 25, 50, 100, 200, 400, Speisung: 10-30 V DC unreg., Ausgang: +/- 4 V, Frequenzbereich: von 0 Hz bis 4.000 Hz (-3dB), abhängig vom Messbereich, Nichtlinearität: +/- 0,5 % FS, Tiefpassfilter 1. oder 2. Ordnung, Überlast: +/- 5.000 g, Betriebstemperatur: -40° C bis +80° C, Gehäusematerial: Aluminium (MIL-A-8625 Type II coating) Kabelausgang oder M12-Stecker, Gewicht ohne Kabel: 55 g, Schutzart: IP67 | Datenblätter: Spannungsausgang – einachsig – zweiachsig – dreiachsig Stromausgang – einachsig – zweiachsig – dreiachsig |
IAC-CM | Ein-, zwei und dreiachsig Hoher Frequenzbereich, Condition Monitoring, Spannungs- oder Stromausgang Messbereich, je Achse (+/- g): 25, 50, 100, Speisung: 12-30 V DC unreg. Ausgang: +/- 4 V oder 4-20mA, Frequenzbereich: von 0 Hz bis 24.000 Hz (-3dB), Nichtlinearität: +/- 0,5 % – 1,5 % FS, Überlast: +/- 1.000 g Betriebstemperatur: -40° C bis +80° C, Gehäusematerial: Aluminium (MIL-A-8625 Type II coating), Kabelausgang oder M12-Stecker Gewicht ohne Kabel: 50 g, Schutzart: IP67 | Datenblätter: Spannungsausgang – einachsig – zweiachsig – dreiachsig Stromausgang – einachsig – zweiachsig – dreiachsig |
IAC | Ein-, zwei- und dreiachsig Preiswerte Sensoren (low cost) für allgemeine Anwendungen, kompakt, geringes Rauschen, für viele Applikationen geeignet. Messbereich je Achse (+/- g): 2, 6, Speisung: 12-30 V DC unreg., Ausgang: 0 – 3 V Sensitivität: +/-0,6 V/g, Frequenzbereich: von 0 Hz bis 1000 Hz (-3dB), abhängig vom Messbereich, Nichtlinearität: +/- 0,5 % FS Tiefpassfilter 1. oder 2. Ordnung Überlast: +/- 5.000 g Betriebstemperatur: -20° C bis +80° C Gehäusematerial: Aluminium (MIL-A-8625 Type II coating) Kabelausgang oder M12-Stecker Gewicht ohne Kabel: 40 g Schutzart: IP67 | Datenblätter: Spannungsausgang – einachsig – zweiachsig – dreiachsig Stromausgang – einachsig – zweiachsig – dreiachsig |
IAC-UHRS | Ein- zwei- und dreiachsig Sehr hohe Auflösung und sehr geringes Rauschen für z.B. seismische Überwachung Messbereich (+/- g): 3, 5 Speisung: 10-30 V DC unreg., Ausgang: -/- 2,7 V differential Frequenzbereich: von 0 Hz bis 500/650 Hz Nichtlinearität: 0,5 % typ – 1,5 % max. Rauschen: 1,0/1,5 μg/√Hz Überlast: 1.000 g Betriebstemperatur: -40° C bis +80° C Gehäusematerial: Aluminium (MIL-A-8625 Type II coating) Kabelausgang oder M12-Stecker Gewicht ohne Kabel: 50 g Schutzart: IP67 | Datenblätter Spannungsausgang – einachsig – zweiachsig – dreiachsig |
INCL | Neigungssensor, zweiachsig, für Offshore Anwendungen (z.B.: Brücken, Gebäude. Plattformen, Bauindustrie, (Kräne), Windkraftanlagen Messbereich +/- 15° Speisung: 24-28 V DC Ausgang: 4-20 mA Sensitivität: 0,555 mA/° Interner Temperatursensor zur Drift-Kompensierung (Daten s. Datenblatt) Rauschen: 0,0005μg/√Hz Tiefpass 2. Ordnung, Eckfrequenz (3 dB): 12 Ht Betriebstemperatur: -40° C bis +85° C EMV-Schutz: s. Datenblatt Kabelausgang | Datenblatt |
3741F12 | Einachsig Differential Messbereiche (+/- g): 2, 10 , 50, 100, 200 Speisung: 5-32 V DC unreg,, Ausgang: +/- 2,7V differential Frequenzbereich: abhängig vom Messbereich, siehe Datenblatt Betriebstemperatur: -54.0 bis 121 °C Festes Anschlusskabel Datenblatt | |
3711F11 | Einachsig Single-Ended Anschluss Messbereiche (+/- g): 2, 10 , 30, 50, 100, 200 Speisung: 5-32 V DC unreg,, Ausgang: +/- 1,35 V single-ended Frequenzbereich: abhängig vom Messbereich, siehe Datenblatt Betriebstemperatur: -54.0 bis 121 °C Steckeranschluss Datenblatt | |
3743F11 | Dreiachsig Differential Messbereiche je Achse (+/- g): 2, 10, 30, 50, 100, 200 Speisung:5-32 V DC unreg,, Ausgang: +/- 2,7V differential Frequenzbereich: abhängig vom Messbereich Betriebstemperatur: -54.0 bis 121 °C Steckeranschluss Datenblatt | |
3713F11 | Dreiachsig Single-Ended Anschluss Messbereiche je Achse (+/- g): 2, 10, 30, 50, 100, 200 Speisung:5-32 V DC unreg,, Ausgang: +/- 1,35 V single-ended Frequenzbereich: abhängig vom Messbereich Betriebstemperatur: -54.0 bis 121 °C Steckeranschluss Datenblatt |
Für alle Datenblätter und technische Informationen gilt: technische Änderungen vorbehalten.