Kapazitive einachsige und mehrachsige MEMS Beschleunigungssensoren
Das sensitive Element dieser Sensoren beruht auf der Veränderung der Kapazität durch Abstandsänderung der Elektroden (Kondensator, Luftdämpfung), die aus Halbleiter gefertigt sind und in einer Brücke (mit Doppelkondensator) verschaltet sind.
Kapazitive Beschleunigungssensoren eigen sich für statische und niederfrequente Messaufgaben. Der nutzbare Frequenzbereich ist i.a. ebenso wie der max. Messbereich niedriger als bei piezoresistiven Ausführungen. Das sensitive, kapazitive Element befindet sich zusammen mit dem Verstärker/Spannungsregulator/Filter auf einer anwenderspezifischen Platine (ASIC – Application Specific Integrated Circuit), die dann in ein Gehäuse eingebaut ist. Die Gehäuseform richtet sich nach den verschiedenen Anwendungsmöglichkeiten. Auf der Platine sind u.a. der Spannungsregulator, Filter und Verstärker implementiert. Dies führt zu größeren äußeren Abmessungen und höherem Gewicht gegenüber unverstärkten piezoresistiven Sensoren, die auch als Halbbrücke ausgeführt werden können.
Kapazitive Beschleunigungssensoren sind sehr robust und eigenen sich daher für vielfältige Anwendungen.
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Spannungs- oder Stromausgang, Messungen ab 0 Hz.
IAC- HiRes | Ein-, zwei und dreiachsig Geringes Rauschen, großer Frequenzbereich, Spannungs- oder Stromausgang. Messbereich je Achse (+/- g): 2, 5, 10, 25, 50, 100, 200, 400, Speisung: 10-30 V DC unreg., Ausgang: +/- 4 V, Frequenzbereich: von 0 Hz bis 4.000 Hz (-3dB), abhängig vom Messbereich, Nichtlinearität: +/- 0,5 % FS, Tiefpassfilter 1. oder 2. Ordnung, Überlast: +/- 5.000 g, Betriebstemperatur: -40° C bis +80° C, Gehäusematerial: Aluminium (MIL-A-8625 Type II coating), Gewicht ohne Kabel: 55 g, Schutzart: IP67 | Datenblätter: Spannungsausgang – einachsig – zweiachsig – dreiachsig Stromausgang – einachsig – zweiachsig – dreiachsig |
IAC-CM | Ein- zwei und dreiachsig Hoher Frequenzbereich, Condition Monitoring, Spannungs- oder Stromausgang Messbereich, je Achse (+/- g): 25, 50, 100, Speisung: 12-30 V DC unreg. Ausgang: +/- 4 V oder 4-20mA, Frequenzbereich: von 0 Hz bis 10.000 Hz (-3dB), Nichtlinearität: +/- 0,5 % – 1,5 % FS, Überlast: +/- 1.000 g Betriebstemperatur: -40° C bis +80° C, Gehäusematerial: Aluminium (MIL-A-8625 Type II coating), Gewicht ohne Kabel: 50 g, Schutzart: IP67 | Datenblätter: Spannungsausgang – einachsig – zweiachsig – dreiachsig Stromausgang – einachsig – zweiachsig – dreiachsig |
IAC | Ein- zwei- und dreiachsig Preiswerte Sensoren (low cost), kompakt, geringes Rauschen, für viele Applikationen geeignet. Messbereich je Achse (+/- g): 2, 6, Speisung: 12-30 V DC unreg., Ausgang: 0 – 3 V Sensitivität: +/-0,6 V/g, Frequenzbereich: von 0 Hz bis 1000 Hz (-3dB), abhängig vom Messbereich, Nichtlinearität: +/- 0,5 % FS Tiefpassfilter 1. oder 2. Ordnung Überlast: +/- 5.000 g Betriebstemperatur: -20° C bis +80° C Gehäusematerial: Aluminium (MIL-A-8625 Type II coating) Gewicht ohne Kabel: 40 g Schutzart: IP67 | Datenblätter: Spannungsausgang – einachsig – zweiachsig – dreiachsig Stromausgang – einachsig – zweiachsig – dreiachsig |
IAC-UHRS | Einachsig Seismische Überwachung Messbereich (+/- g): 3, 5 Speisung: 10-30 V DC unreg., Ausgang: -/- 2,7 V differential Frequenzbereich: von 0 Hz bis 500/650 Hz Nichtlinearität: 0,5 % typ – 1,5 % max. Rauschen: 1,0/1,5 μg/√Hz Überlast: 1.000 g Betriebstemperatur: -40° C bis +80° C Gehäusematerial: Aluminium (MIL-A-8625 Type II coating) Gewicht ohne Kabel: 50 g Schutzart: IP67 | Datenblätter Spannungsausgang – einachsig – zweiachsig – dreiachsig |
Für alle Datenblätter und technische Informationen gilt: technische Änderungen vorbehalten.