Kapazitive einachsige und mehrachsige MEMS Beschleunigungssensoren

Das sensitive Element dieser Sensoren beruht auf der Veränderung der Kapazität durch Abstandsänderung der Elektroden (Kondensator, Luftdämpfung), die aus Halbleiter gefertigt sind und in einer Brücke (mit Doppelkondensator) verschaltet sind.
Kapazitive Beschleunigungssensoren eigen sich für statische und niederfrequente Messaufgaben. Der nutzbare Frequenzbereich ist i.a. ebenso wie der max. Messbereich niedriger als bei piezoresistiven Ausführungen. Das sensitive, kapazitive Element befindet sich zusammen mit dem Verstärker/Spannungsregulator/Filter auf einer anwenderspezifischen Platine (ASIC – Application Specific Integrated Circuit), die dann in ein Gehäuse eingebaut ist. Die Gehäuseform richtet sich nach den verschiedenen Anwendungsmöglichkeiten. Auf der Platine sind u.a. der Spannungsregulator, Filter und Verstärker implementiert. Dies führt zu größeren äußeren Abmessungen und höherem Gewicht gegenüber unverstärkten piezoresistiven Sensoren, die auch als Halbbrücke ausgeführt werden können.
Kapazitive Beschleunigungssensoren sind sehr robust und eigenen sich daher für vielfältige Anwendungen.

Nachfolgend finden Sie eine Auswahl aus unserem Lieferprogramm:

Spannungs- oder Stromausgang, Messungen ab 0 Hz

Die Aufnehmer sind in Aluminium- oder Edelstahlgehäusen, sowie mit integriertem Kabel als auch mit M12-Steckern erhältlich. Die veschiedenen Ausführungen decken eine große Bandbreite von Anwendungen ab. Von allgemeinenen Verwendungen, über rauscharme Sensoren, große Frequenzbandbreiten (z.B. für Monitoring) bis hin zu Ausführungen mit sehr hoher Auflösung und sehr geringem Rauschen (z.B. für seismische Anwendungen).
Einsatzgebiete: Automotive, Luftfahrt, Landwirtschaft, Test und Messtechnik, Schienenverkehr, allgemeine Industrie u.v.m.

IAC- HiRes
 
Ein-, zwei und dreiachsig
Geringes Rauschen, großer Frequenzbereich, Spannungs- oder Stromausgang.
Messbereich je Achse (+/- g): 2, 5, 10, 25, 50, 100, 200, 400,
Speisung: 10-30 V DC unreg., Ausgang: +/- 4 V,
Frequenzbereich: von 0 Hz bis 4.000 Hz (-3dB), abhängig vom Messbereich,
Nichtlinearität: +/- 0,5 % FS, Tiefpassfilter 1. oder 2. Ordnung,
Überlast: +/- 5.000 g,
Betriebstemperatur: -40° C bis +80° C,
Gehäusematerial: Aluminium (MIL-A-8625 Type II coating)
Kabelausgang oder M12-Stecker,
Gewicht ohne Kabel: 55 g,
Schutzart: IP67
Datenblätter:
Spannungsausgang
einachsig
zweiachsig
dreiachsig
Stromausgang
einachsig
zweiachsig
dreiachsig
IAC-CM
IAC-HiRes-Du-2, zweiachsiger kapatitiver Beschleunigungssensor
 
Ein-, zwei und dreiachsig
Hoher Frequenzbereich, Condition Monitoring, Spannungs- oder Stromausgang
Messbereich, je Achse (+/- g): 25, 50, 100,
Speisung: 12-30 V DC unreg. Ausgang: +/- 4 V oder 4-20mA,
Frequenzbereich: von 0 Hz bis 24.000 Hz (-3dB),
Nichtlinearität: +/- 0,5 % – 1,5 % FS,
Überlast: +/- 1.000 g
Betriebstemperatur: -40° C bis +80° C,
Gehäusematerial: Aluminium (MIL-A-8625 Type II coating),
Kabelausgang oder M12-Stecker
Gewicht ohne Kabel: 50 g,
Schutzart: IP67
Datenblätter:
Spannungsausgang
einachsig
zweiachsig
dreiachsig
Stromausgang
einachsig
zweiachsig
dreiachsig
IAC
 
Ein-, zwei- und dreiachsig
Preiswerte Sensoren (low cost) für allgemeine Anwendungen, kompakt, geringes Rauschen, für viele Applikationen geeignet.
Messbereich je Achse (+/- g): 2, 6,
Speisung: 12-30 V DC unreg., Ausgang: 0 – 3 V
Sensitivität: +/-0,6 V/g,
Frequenzbereich: von 0 Hz bis 1000 Hz (-3dB), abhängig vom Messbereich,
Nichtlinearität: +/- 0,5 % FS
Tiefpassfilter 1. oder 2. Ordnung
Überlast: +/- 5.000 g
Betriebstemperatur: -20° C bis +80° C
Gehäusematerial: Aluminium (MIL-A-8625 Type II coating)
Kabelausgang oder M12-Stecker
Gewicht ohne Kabel: 40 g
Schutzart: IP67
Datenblätter:
Spannungsausgang
einachsig
zweiachsig
dreiachsig
Stromausgang
einachsig
zweiachsig
dreiachsig
IAC-UHRS
IAC-UHRS Sensor zur seismischen Überwachung
Ein- zwei- und dreiachsig
Sehr hohe Auflösung und sehr geringes Rauschen für z.B. seismische Überwachung
Messbereich (+/- g): 3, 5
Speisung: 10-30 V DC unreg., Ausgang: -/- 2,7 V differential
Frequenzbereich: von 0 Hz bis 500/650 Hz
Nichtlinearität: 0,5 % typ – 1,5 % max.
Rauschen: 1,0/1,5 μg/√Hz
Überlast: 1.000 g
Betriebstemperatur: -40° C bis +80° C
Gehäusematerial: Aluminium (MIL-A-8625 Type II coating)

Kabelausgang oder M12-Stecker
Gewicht ohne Kabel: 50 g
Schutzart: IP67



Datenblätter
Spannungsausgang
einachsig
zweiachsig
dreiachsig
INCL
Neigungssensor SNS_HiRes-003
Neigungssensor, zweiachsig, für Offshore Anwendungen (z.B.: Brücken, Gebäude. Plattformen, Bauindustrie, (Kräne), Windkraftanlagen
Messbereich +/- 15°
Speisung: 24-28 V DC
Ausgang: 4-20 mA

Sensitivität: 0,555 mA/°
Interner Temperatursensor zur Drift-Kompensierung (Daten s. Datenblatt)
Rauschen: 0,0005μg/√Hz
Tiefpass 2. Ordnung, Eckfrequenz (3 dB): 12 Ht
Betriebstemperatur: -40° C bis +85° C
EMV-Schutz: s. Datenblatt

Kabelausgang
Datenblatt
3741F12
Einachsig
Differential
Messbereiche (+/- g): 2, 10 , 50, 100, 200
Speisung: 5-32 V DC unreg,, Ausgang: +/- 2,7V differential
Frequenzbereich: abhängig vom Messbereich, siehe Datenblatt
Betriebstemperatur: -54.0 bis 121 °C
Festes Anschlusskabel

Datenblatt
3711F11
Einachsig
Single-Ended Anschluss
Messbereiche (+/- g): 2, 10 , 30, 50, 100, 200
Speisung: 5-32 V DC unreg,, Ausgang: +/- 1,35 V single-ended
Frequenzbereich: abhängig vom Messbereich, siehe Datenblatt
Betriebstemperatur: -54.0 bis 121 °C
Steckeranschluss

Datenblatt
3743F11
Dreiachsig
Differential
Messbereiche je Achse (+/- g): 2, 10, 30, 50, 100, 200
Speisung:5-32 V DC unreg,, Ausgang: +/- 2,7V differential
Frequenzbereich: abhängig vom Messbereich
Betriebstemperatur: -54.0 bis 121 °C
Steckeranschluss

Datenblatt
3713F11
Dreiachsig
Single-Ended Anschluss
Messbereiche je Achse (+/- g): 2, 10, 30, 50, 100, 200
Speisung:5-32 V DC unreg,, Ausgang: +/- 1,35 V single-ended
Frequenzbereich: abhängig vom Messbereich
Betriebstemperatur: -54.0 bis 121 °C
Steckeranschluss

Datenblatt

Für alle Datenblätter und technische Informationen gilt: technische Änderungen vorbehalten.

Ihre Anfrage

Sie benötigen weitere Informationen, eine Beratung oder ein Angebot?

Warenkorb
Scroll to Top