Kapazitiv (MEMS)

Übersicht

Technologie:
Das sensitive Element dieser Sensoren beruht auf der Veränderung der Kapazität durch Abstandsänderung der Elektroden (Kondensator, Luftdämpfung), die aus Halbleiter gefertigt sind und ähnlich wie DMS-Sensoren in einer Brücke mit Doppelkondensator verschaltet sind.
Kapazitive Beschleunigungssensoren eigen sich für statische und niederfrequente Messaufgaben. Die nutzbare Frequenz ist abhängig vom Messbereich und wird in den Datenblättern auch häufig als “Bandwith” bezeichnet. Der Sensor befindet sich zusammen mit dem Verstärker/Spannungsregulator auf einer Platine, die dann im jeweiligen Gehäuse eingebaut ist.
Kapazitive Sensoren sind sehr robust und eigenen sich daher für vielfältige Anwendungen. Ein Nachteil besteht im Rauschen, besonders in niedrigen Messbereichen. Die Hersteller bieten daher auch “Low Noise”-Varianten an, die dann auf einem bestimmten sensitiven Element beruhen.
Wir unterstützen Sie gerne bei der Lösung Ihrer Messaufgaben! Fragen Sie uns an.

Kapazitive Beschleunigungssensoren (MEMS) des Herstellers Micromega

Die von SENSOCON angebotenen Ausführungen der IAS-HiRes-Familie zeichnen sich vor allem durch sehr niedriges Rauschverhalten und große Frequenzbandbreiten aus. Sie sind daher auch für Vibrationsmessungen geeignet.  

Spezifikationen (gelten bei mehrachsigen Aufführen je Achse):

Messbereich	Sensitivität	Frequenzbereich (-3dB)	Rauschen
g	mV/g	Hz	µ/√Hz
±2	2000	0 – 400	5
±5	800	0 – 600	7
±10	400	0 – 1000	10
±25	160	0 – 1500	25
±50	80	0 – 2000	50
±100	40	0 – 2500	100
±200	20	0 – 3000	200
±400	10	0 – 4000	400

Einachsig sehr geringes Rauschen, hoher Frequenzbereich, Spannungsausgang
IAC-HiRes-Ud-1	Messbereich (+/- g): 2, 5, 10, 25, 50, 100, 200, 400 Speisung: 10-30 V DC unreg. Ausgang: +/- 4 V Frequenzbereich: von 0 Hz bis 4000 Hz (-3dB), abhängig vom Messbereich Nichtlinearität: +/- 0,5% FS Tiefpassfilter 1. oder 2. Ordnung Überlast: +/- 5000g Betriebstemperatur: -40°C bis +80°C Gehäusematerial: Aluminium (MIL-A-8625 Type II coating) Gewicht ohne Kabel: 55g Schutzart: IP67 Leistungsübersicht (gilt analog auch für die zwei- und dreiachsigen Ausführungen)
Zweiachsig sehr geringes Rauschen hoher Frequenzbereich Spannungsausgang
IAC-HiRes-Du-2	Messbereich, je Achse (+/- g): 2, 5, 10, 25, 50, 100, 200, 400 Speisung: 10-30 V DC unreg. Ausgang: +/- 4 V Frequenzbereich: von 0 Hz bis 4000 Hz (-3dB), abhängig vom Messbereich Nichtlinearität: +/- 0,5% FS Tiefpassfilter 1. oder 2. Ordnung Überlast: +/- 5000g Betriebstemperatur: -40°C bis +80°C Gehäusematerial: Aluminium (MIL-A-8625 Type II coating) Gewicht ohne Kabel: 40g Schutzart: IP67 Datenblatt (alle Messbereiche):
Dreiachsig sehr geringes Rauschen hoher Frequenzbereich Spannungsausgang
IAC-HiRes-Du-3	Messbereich, je Achse (+/- g): 2, 5, 10, 25, 50, 100, 200, 400 Speisung: 10-30 V DC unreg. Ausgang: +/- 4 V Frequenzbereich: von 0 Hz bis 4000 Hz (-3dB), abhängig vom Messbereich Nichtlinearität: +/- 0,5% FS Tiefpassfilter 1. oder 2. Ordnung Überlast: +/- 5000g Betriebstemperatur: -40°C bis +80°C Gehäusematerial: Aluminium (MIL-A-8625 Type II coating) Gewicht ohne Kabel: 40g Schutzart: IP67
LOW COST – Ausführungen Ein- zwei- und dreiachsig zum direkten Anschluss an Instrumentierung, Anzeigen, SPS usw.
IAC-U-01 IAC-U-01 IAC-U-03	Messbereich je Achse (+/- g): 2, 6 Speisung: 12-30 V DC unreg. Ausgang: 0-3V / 0-3mA Sensitivität: +/-0,6 V/g Frequenzbereich: von 0 Hz bis 1000 Hz (-3dB), abhängig vom Messbereich Nichtlinearität: +/- 0,5% FS Tiefpassfilter 1. oder 2. Ordnung Überlast: +/- 5000g Betriebstemperatur: -20°C bis +80°C Gehäusematerial: Aluminium (MIL-A-8625 Type II coating) Gewicht ohne Kabel: 40g Schutzart: IP67	–

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Kapazitive Beschleunigungssensoren (MEMS) des Herstellers PCB Piezotronics

(Hinweis: die Links zu den Datenblättern führen Sie zu den Seiten des Herstellers)

Einachsig

3711F112g	Messbereich ±2 g Empfindlichkeit (±3%) 1.350 mV/g Frequenzbereich (±5%) 0 … 250 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC Integriertes Anschlusskabel, Länge 3 Meter, endend auf abisolierte und verzinnte Enden	PDF
3711F1110G	Messbereich ±10 g p Empfindlichkeit (±3%) 135 mV/g Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.000 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC 4-Pin-Anschlussbuchse seitlich	PDF
3711F1130G	Messbereich ±35 g Empfindlichkeit (±3%) 45 mV/g Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.500 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC 4-Pin-Anschlussbuchse seitlich	PDF
3711F1150G	Messbereich ±50 g Empfindlichkeit (±3%) 27 mV/g Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.500 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC 4-Pin-Anschlussbuchse seitlich	PDF
3711F11100G	Messbereich ±100 g Empfindlichkeit (±3%) 13,5 mV/g Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.500 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC 4-Pin-Anschlussbuchse seitlich	PDF
3711F11200G	Messbereich ±200 g Empfindlichkeit (±3%) 13,5 mV/g Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.500 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC 4-Pin-Anschlussbuchse seitlich	PDF
3711F122G	Messbereich ±2 g Empfindlichkeit (±3%) 675 mV/g Frequenzbereich (±5%) 0 … 250 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC Integriertes Anschlusskabel, Länge 3 Meter, endend auf abisolierte und verzinnte Enden	PDF
3711F1210G	Messbereich ±10 g Empfindlichkeit (±3%) 135 mV/g Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.000 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC Integriertes Anschlusskabel, Länge 3 Meter, endend auf abisolierte und verzinnte Enden	PDF
3711F1230G	Messbereich ±30 g Empfindlichkeit (±3%) 45 mV/g Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.500 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC Integriertes Anschlusskabel, Länge 3 Meter, endend auf abisolierte und verzinnte Enden	PDF
3711F1250G	Messbereich ±50 g Empfindlichkeit (±3%) 27 mV/g Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.500 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC Integriertes Anschlusskabel, Länge 3 Meter, endend auf abisolierte und verzinnte Enden	PDF
3711F12100G	Messbereich ±100 g Empfindlichkeit (±3%) 13,5 mV/g Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.500 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC Integriertes Anschlusskabel, Länge 3 Meter, endend auf abisolierte und verzinnte Enden	PDF
3711F12200G	Messbereich ±200 g Empfindlichkeit (±3%) 6,75 mV/g Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.500 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC Integriertes Anschlusskabel, Länge 3 Meter, endend auf abisolierte und verzinnte Enden	PDF

Dreiachsig

3713F112G	Messbereich ±2 g Empfindlichkeit (±3%) 675 mV/g Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 250 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC 9-Pin-Anschlussbuchse seitlich	PDF
3713F122G	Messbereich ±2 g Empfindlichkeit (±3%) 675 mV/g Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 250 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC 9-Pin-Anschlussbuchse seitlich	PDF
3713F1210G	Messbereich ±10 g Empfindlichkeit (±3%) 135 mV/g Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.000 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC 9-Pin-Anschlussbuchse seitlich	PDF
3713F1210G	Messbereich ±10 g Empfindlichkeit (±3%) 135 mV/g Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.000 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC 9-Pin-Anschlussbuchse seitlich	PDF
3713F1130G	Messbereich ±30 g Empfindlichkeit (±3%) 45 mV/g Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.500 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC 9-Pin-Anschlussbuchse seitlich	PDF
3713F1230G	Messbereich ±30 g Empfindlichkeit (±3%) 45 mV/g Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.500 Hz Versorgungsspannung 5 … 32 VDC 9-Pin-Anschlussbuchse seitlich	PDF

Für alle Datenblätter und techn. Informationen gilt: technische Änderungen vorbehalten.