Kapazitive MEMS Beschleunigungssensoren

Das sensitive Element dieser Sensoren beruht auf der Veränderung der Kapazität durch Abstandsänderung der Elektroden (Kondensator, Luftdämpfung), die aus Halbleiter gefertigt sind und in einer Brücke (mit Doppelkondensator) verschaltet sind.
Kapazitive Beschleunigungssensoren eigen sich für statische und niederfrequente Messaufgaben. Der nutzbare Frequenzbereich ist i.a. ebenso wie der max. Messbereich niedriger als bei piezoresistiven Ausführungen. Das sensitive, kapazitive Element befindet sich zusammen mit dem Verstärker/Spannungsregulator/Filter auf einer Platine (ASIC), die dann im jeweiligen Gehäuse eingebaut ist. Auf der Platine sind u.a. der Spannungsregulator, Filter und Verstärker implementiert. Dies führt zu einer größeren äußeren Abmessungen und höherem Gewicht gegenüber unverstärkten piezoresistiven Sensoren.
Kapazitive Beschleunigungssensoren sind sehr robust und eigenen sich daher für vielfältige Anwendungen. Ein Nachteil besteht im Rauschen, besonders in niedrigen Messbereichen. Die Hersteller bieten daher auch “Low Noise“-Varianten an, die dann auf einem bestimmten sensitiven Element beruhen.
Wir unterstützen Sie gerne bei der Lösung Ihrer Messaufgaben! Fragen Sie uns an.

Kapazitive, mehrachsige Beschleunigungssensoren (MEMS) des Herstellers Micromega.

IAC- HiRes
 
Ein-, zwei und dreiachsig
Sehr geringes Rauschen, großer Frequenzbereich, Spannungs- oder Stromausgang.
Messbereich je Achse (+/- g): 2, 5, 10, 25, 50, 100, 200, 400,
Speisung: 10-30 V DC unreg., Ausgang: +/- 4 V,
Frequenzbereich: von 0 Hz bis 4.000 Hz (-3dB), abhängig vom Messbereich,
Nichtlinearität: +/- 0,5% FS, Tiefpassfilter 1. oder 2. Ordnung,
Überlast: +/- 5000g,
Betriebstemperatur: -40°C bis +80°C,
Gehäusematerial: Aluminium (MIL-A-8625 Type II coating),
Gewicht ohne Kabel: 55g,
Schutzart: IP67
Datenblätter auf Anfrage
IAC-CM
IAC-HiRes-Du-2, zweiachsiger kapatitiver Beschleunigungssensor
 
Ein- zwei und dreiachsig
Hoher Frequenzbereich, Condition Monitoring, Spannungs- oder Stromausgang
Messbereich, je Achse (+/- g): 25, 50, 100,
Speisung: 12-30 V DC unreg. Ausgang: +/- 4 V oder 4-20mA,
Frequenzbereich: von 0 Hz bis 10.000 Hz (-3dB),
Nichtlinearität: +/- 0,5% – 1,5% FS,
Überlast: +/- 1000g ,
Betriebstemperatur: -40°C bis +80°C,
Gehäusematerial: Aluminium (MIL-A-8625 Type II coating),
Gewicht ohne Kabel: 50g,
Schutzart: IP67
Datenblätter auf Anfrage
IAC
 
Ein- zwei- und dreiachsig
Preiswerte Sensoren (low cost), kompakt, geringes Rauschen, für viele Applikationen geeignet.
Messbereich je Achse (+/- g): 2, 6,
Speisung: 12-30 V DC unreg., Ausgang: 0-3V / 0-3mA,
Sensitivität: +/-0,6 V/g,
Frequenzbereich: von 0 Hz bis 1000 Hz (-3dB), abhängig vom Messbereich,
Nichtlinearität: +/- 0,5% FS
Tiefpassfilter 1. oder 2. Ordnung
Überlast: +/- 5000g
Betriebstemperatur: -20°C bis +80°C
Gehäusematerial: Aluminium (MIL-A-8625 Type II coating)
Gewicht ohne Kabel: 40g
Schutzart: IP67
Datenblätter auf Anfrage
IAC-UHRS
IAC-UHRS Sensor zur seismischen Überwachung
Einachsig
Seismische Überwachung
Messbereich (+/- g): 3, 5
Speisung: 10-30 V DC unreg., Ausgang: -/- 2,7 V differential
Frequenzbereich: von 0 Hz bis 500/650 Hz
Nichtlinearität: 0,5% typ – 1,5% max.
Rauschen: 1,0/1,5 μg/√Hz
Überlast: 1.000 g
Betriebstemperatur: -40°C bis +80°C
Gehäusematerial: Aluminium (MIL-A-8625 Type II coating)
Gewicht ohne Kabel: 50g
Schutzart: IP67



Datenblätter auf Anfrage
Für alle Datenblätter und technische Informationen gilt: technische Änderungen vorbehalten.

Kapazitive, mehrachsige Beschleunigungssensoren (MEMS) des Herstellers PCB Piezotronics

(Hinweis: die Links zu den Datenblättern führen Sie zu den Seiten des Herstellers)

Einachsig

3711F112g

Messbereich ±2 g
Empfindlichkeit (±3%) 1.350 mV/g
Frequenzbereich (±5%) 0 … 250 Hz
Versorgungsspannung 5 … 32 VDC
Integriertes Anschlusskabel, Länge 3 Meter,
endend auf abisolierte und verzinnte Enden
PDF
3711F1110G
Messbereich ±10 g
Empfindlichkeit (±3%) 135 mV/g
Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.000 Hz
Versorgungsspannung 5 … 32 VDC
4-Pin-Anschlussbuchse seitlich
PDF
3711F1130G
Messbereich ±35 g
Empfindlichkeit (±3%) 45 mV/g
Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.500 Hz
Versorgungsspannung 5 … 32 VDC
4-Pin-Anschlussbuchse seitlich
PDF
3711F1150G
Messbereich ±50 g
Empfindlichkeit (±3%) 27 mV/g
Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.500 Hz
Versorgungsspannung 5 … 32 VDC
4-Pin-Anschlussbuchse seitlich
PDF
3711F11100G
Messbereich ±100 g
Empfindlichkeit (±3%) 13,5 mV/g
Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.500 Hz
Versorgungsspannung 5 … 32 VDC
4-Pin-Anschlussbuchse seitlich
PDF
3711F11200G
Messbereich ±200 g
Empfindlichkeit (±3%) 13,5 mV/g
Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.500 Hz
Versorgungsspannung 5 … 32 VDC
4-Pin-Anschlussbuchse seitlich
PDF
3711F122G
Messbereich ±2 g
Empfindlichkeit (±3%) 675 mV/g
Frequenzbereich (±5%) 0 … 250 Hz
Versorgungsspannung 5 … 32 VDC
Integriertes Anschlusskabel, Länge 3 Meter,
endend auf abisolierte und verzinnte Enden
PDF
3711F1210G
Messbereich ±10 g
Empfindlichkeit (±3%) 135 mV/g
Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.000 Hz
Versorgungsspannung 5 … 32 VDC
Integriertes Anschlusskabel, Länge 3 Meter,
endend auf abisolierte und verzinnte Enden
PDF
3711F1230G
Messbereich ±30 g
Empfindlichkeit (±3%) 45 mV/g
Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.500 Hz
Versorgungsspannung 5 … 32 VDC
Integriertes Anschlusskabel, Länge 3 Meter,
endend auf abisolierte und verzinnte Enden
PDF
3711F1250G
Messbereich ±50 g
Empfindlichkeit (±3%) 27 mV/g
Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.500 Hz
Versorgungsspannung 5 … 32 VDC
Integriertes Anschlusskabel, Länge 3 Meter,
endend auf abisolierte und verzinnte Enden
PDF
3711F12100G
Messbereich ±100 g
Empfindlichkeit (±3%) 13,5 mV/g
Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.500 Hz
Versorgungsspannung 5 … 32 VDC
Integriertes Anschlusskabel, Länge 3 Meter,
endend auf abisolierte und verzinnte Enden
PDF
3711F12200G
Messbereich ±200 g
Empfindlichkeit (±3%) 6,75 mV/g
Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.500 Hz
Versorgungsspannung 5 … 32 VDC
Integriertes Anschlusskabel, Länge 3 Meter,
endend auf abisolierte und verzinnte Enden
PDF

Dreiachsig

3713F112G
Messbereich ±2 g
Empfindlichkeit (±3%) 675 mV/g
Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 250 Hz
Versorgungsspannung 5 … 32 VDC
9-Pin-Anschlussbuchse seitlich
PDF
3713F122G
Messbereich ±2 g
Empfindlichkeit (±3%) 675 mV/g
Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 250 Hz
Versorgungsspannung 5 … 32 VDC
9-Pin-Anschlussbuchse seitlich
PDF
3713F1210G
Messbereich ±10 g
Empfindlichkeit (±3%) 135 mV/g
Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.000 Hz
Versorgungsspannung 5 … 32 VDC
9-Pin-Anschlussbuchse seitlich
PDF
3713F1210G
Messbereich ±10 g
Empfindlichkeit (±3%) 135 mV/g
Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.000 Hz
Versorgungsspannung 5 … 32 VDC
9-Pin-Anschlussbuchse seitlich
PDF
3713F1130G
Messbereich ±30 g
Empfindlichkeit (±3%) 45 mV/g
Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.500 Hz
Versorgungsspannung 5 … 32 VDC
9-Pin-Anschlussbuchse seitlich
PDF
3713F1230G
Messbereich ±30 g
Empfindlichkeit (±3%) 45 mV/g
Typischer Frequenzbereich (±5%) 0 … 1.500 Hz
Versorgungsspannung 5 … 32 VDC
9-Pin-Anschlussbuchse seitlich
PDF

Für alle Datenblätter und techn. Informationen gilt: technische Änderungen vorbehalten.