Kapazitive einachsige und mehrachsige MEMS Beschleunigungssensoren

Das sensitive Element dieser Sensoren beruht auf der Veränderung der Kapazität durch Abstandsänderung der Elektroden (Kondensator, Luftdämpfung), die aus Halbleiter gefertigt sind und in einer Brücke (mit Doppelkondensator) verschaltet sind.
Kapazitive Beschleunigungssensoren eigen sich für statische und niederfrequente Messaufgaben. Der nutzbare Frequenzbereich ist i.a. ebenso wie der max. Messbereich niedriger als bei piezoresistiven Ausführungen. Das sensitive, kapazitive Element befindet sich zusammen mit dem Verstärker/Spannungsregulator/Filter auf einer anwenderspezifischen Platine (ASIC – Application Specific Integrated Circuit), die dann in ein Gehäuse eingebaut ist. Die Gehäuseform richtet sich nach den verschiedenen Anwendungsmöglichkeiten. Auf der Platine sind u.a. der Spannungsregulator, Filter und Verstärker implementiert. Dies führt zu größeren äußeren Abmessungen und höherem Gewicht gegenüber unverstärkten piezoresistiven Sensoren, die auch als Halbbrücke ausgeführt werden können.
Kapazitive Beschleunigungssensoren sind sehr robust und eigenen sich daher für vielfältige Anwendungen.
Wir unterstützen Sie gerne bei der Lösung Ihrer Messaufgaben! Fragen Sie uns an.

Spannungs- oder Stromausgang, Messungen ab 0 Hz.

IAC- HiRes
 
Ein-, zwei und dreiachsig
Geringes Rauschen, großer Frequenzbereich, Spannungs- oder Stromausgang.
Messbereich je Achse (+/- g): 2, 5, 10, 25, 50, 100, 200, 400,
Speisung: 10-30 V DC unreg., Ausgang: +/- 4 V,
Frequenzbereich: von 0 Hz bis 4.000 Hz (-3dB), abhängig vom Messbereich,
Nichtlinearität: +/- 0,5 % FS, Tiefpassfilter 1. oder 2. Ordnung,
Überlast: +/- 5.000 g,
Betriebstemperatur: -40° C bis +80° C,
Gehäusematerial: Aluminium (MIL-A-8625 Type II coating),
Gewicht ohne Kabel: 55 g,
Schutzart: IP67
Datenblätter:
Spannungsausgang
einachsig
zweiachsig
dreiachsig
Stromausgang
einachsig
zweiachsig
dreiachsig
IAC-CM
IAC-HiRes-Du-2, zweiachsiger kapatitiver Beschleunigungssensor
 
Ein- zwei und dreiachsig
Hoher Frequenzbereich, Condition Monitoring, Spannungs- oder Stromausgang
Messbereich, je Achse (+/- g): 25, 50, 100,
Speisung: 12-30 V DC unreg. Ausgang: +/- 4 V oder 4-20mA,
Frequenzbereich: von 0 Hz bis 10.000 Hz (-3dB),
Nichtlinearität: +/- 0,5 % – 1,5 % FS,
Überlast: +/- 1.000 g
Betriebstemperatur: -40° C bis +80° C,
Gehäusematerial: Aluminium (MIL-A-8625 Type II coating),
Gewicht ohne Kabel: 50 g,
Schutzart: IP67
Datenblätter:
Spannungsausgang
einachsig
zweiachsig
dreiachsig
Stromausgang
einachsig
zweiachsig
dreiachsig
IAC
 
Ein- zwei- und dreiachsig
Preiswerte Sensoren (low cost), kompakt, geringes Rauschen, für viele Applikationen geeignet.
Messbereich je Achse (+/- g): 2, 6,
Speisung: 12-30 V DC unreg., Ausgang: 0 – 3 V
Sensitivität: +/-0,6 V/g,
Frequenzbereich: von 0 Hz bis 1000 Hz (-3dB), abhängig vom Messbereich,
Nichtlinearität: +/- 0,5 % FS
Tiefpassfilter 1. oder 2. Ordnung
Überlast: +/- 5.000 g
Betriebstemperatur: -20° C bis +80° C
Gehäusematerial: Aluminium (MIL-A-8625 Type II coating)
Gewicht ohne Kabel: 40 g
Schutzart: IP67
Datenblätter:
Spannungsausgang
einachsig
zweiachsig
dreiachsig
Stromausgang
einachsig
zweiachsig
dreiachsig
IAC-UHRS
IAC-UHRS Sensor zur seismischen Überwachung
Einachsig
Seismische Überwachung
Messbereich (+/- g): 3, 5
Speisung: 10-30 V DC unreg., Ausgang: -/- 2,7 V differential
Frequenzbereich: von 0 Hz bis 500/650 Hz
Nichtlinearität: 0,5 % typ – 1,5 % max.
Rauschen: 1,0/1,5 μg/√Hz
Überlast: 1.000 g
Betriebstemperatur: -40° C bis +80° C
Gehäusematerial: Aluminium (MIL-A-8625 Type II coating)
Gewicht ohne Kabel: 50 g
Schutzart: IP67



Datenblätter
Spannungsausgang
einachsig
zweiachsig
dreiachsig

Für alle Datenblätter und technische Informationen gilt: technische Änderungen vorbehalten.